超純過酸化水素

当社は1933年に日本で初めて過酸化水素の製造に成功して以来、世界有数の過酸化水素メーカーの地位を確立してまいりました。

また、電子工業用過酸化水素の開発には半導体産業の黎明期より注力し、長年にわたる品質向上の研究を重ねた結果、高集積デバイスの製造プロセスに適合する超純過酸化水素を製品化致しました。

ウエハー製造工程中の洗浄剤・エッチング剤・研磨剤として、またデバイス製造工程中の洗浄剤・フォトレジスト剥離剤・エッチング剤としても広く使用されています。